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半导体湿法设备是用于半导体制造过程中的一系列设备。半导体湿法设备行业产业链上游主要包括高纯度化学品(硫酸、氢氟酸、氨水)、超纯水系统(超纯水系统)等核心材料,以及精密机械部件(耐腐蚀泵、阀门)、传感器与控制系统(温度/压力传感器、PLC控制器)、纳米级过滤器等关键零部件,上游的材料与零部件技术壁垒较高,主要由欧美日厂商占据主要份额;行业中游为半导体湿法设备生产制造;行业下游应用于半导体的制造中,终端应用于消费电子、汽车电子、AI/数据中心等领域。
在5G通讯、智能终端、汽车电子等新兴领域的带动下,全球集成电路、显示面板等产业持续保持稳健发展,相关配套行业也迎来持续增长。2023年全球湿电子化学品整体市场规模约684.02亿元,其中,集成电路领域市场规模462.00亿元,显示面板领域市场规模134.60亿元,太阳能光伏领域市场规模87.42亿元;预计到2025年,全球湿电子化学品整体市场规模将达到827.85亿元,其中,集成电路领域市场规模约544.60亿元,显示面板领域市场规模约159.00亿元,太阳能光伏领域市场规模约124.25亿元。随着半导体行业的发展,预计湿电子化学品在三大应用领域湿电子化学品市场规模均保持持续增长。
目前,全球半导体湿法设备高度集中,市场主要被迪恩士SCREEN、东京电子TEL、泛林LAM与细美事SEMES等日本、美国、韩国等国外企业主导,这四家企业合计占据全球超90%的市场份额。国内能够提供半导体湿法设备的企业主要包括至纯科技、北方华创、盛美上海及芯源微。国产设备市场占有率低,但发展迅速。国内企业如盛美上海、至纯科技、北方华创的成果比肩国际领先企业。盛美半导体、北方华创、至纯科技、芯源微等企业已实现部分湿法设备量产,并进入中芯国际、长江存储、华虹集团等国内头部晶圆厂供应链。
得益于中国半导体设备市场需求增长、盛美上海在清洗设备领域竞争优势的提升以及不断开拓新的半导体设备产品,销售收入持续增长,保持持续盈利。据企业公告数据显示,2024年盛美上海实现营业收入56.18亿元,同比增长44.48%;归属于上市公司股东的净利润11.53亿元,同比增长26.65%。受益于半导体行业景气以及公司产品结构多元化的发展策略,2024年盛美上海半导体清洗设备收入为40.57亿元,同比增长约55.18%;先进封装湿法设备收入为2.46亿元,同比增长约53.55%。
经过多年的努力,至纯科技已成为国内集成电路领域高纯工艺系统的领导者、湿法设备的领先者,并成功跻身为国内28纳米及以上主流集成电路制造企业的大宗气体主要本土供应商之一。在技术研发方面,至纯科技湿法设备产品成功开发了四大平台,覆盖湿法几乎全部工艺,在仍然被国际厂商垄断的部分机台环节,至纯科技保持了国内领先的验证及交付进度。至纯科技旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一,能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。据企业公告数据显示,2024年前三季度,至纯科技实现营业总收入26.39亿元,同比上升20.04%;归母净利润1.93亿元,同比下降1.64%。